【康沃真空網】鍍膜產品的常見問題，部分是鍍膜工序的本身造成的，部分是前工程遺留的問題，鍍膜最終的品質是整個光學零件加工的（特別是拋光、清洗）的綜合反映，對于出現鍍膜不良時必須綜合考慮，才能真正找到不良產生的原因，對策改善才能取得成效。

　　膜臟（也稱白壓克）

　　顧名思義，膜層有臟。一般的膜臟發生在膜內或膜外。臟可以包括：灰塵點、白霧、油斑、指紋印、口水點等。（灰塵點和白霧單列）

   　1、灰點臟

　　現象：鏡片膜層表面或內部有一些點子（不是膜料點）有些可以擦除，有的不能擦除。并且會有點狀脫膜產生。

　　產生原因：

　　1、真空室臟，在開始抽真空時的空氣渦流將真空室底板、護板的臟灰帶到鏡片上，形成灰點層。（膜內，不能擦除，會有點狀脫膜）

　　2、鏡圈或碟片臟，有浮點灰塵，在離子束作用下附著到了鏡片上形成灰點層。（膜內，不能擦除，會有點狀脫膜）

　　3、鏡片上傘時就有灰塵點，上傘時沒有檢查挑選。（膜內，不能擦除，會有點狀脫膜）

　　4、鍍制完成后的環境污染是膜外灰點的主要成因，特別是當鏡片熱的時候，更容易吸附灰塵，而且難以擦除。（膜外）

　　5、真空室充氣口環境臟、開始充氣量過大、充氣過濾器臟，充氣時鏡片溫度過高也是造成鏡片膜外灰塵點不良的原因。（膜外）

　　6、 作業員人為帶來的灰塵污染（膜內膜外）

　　7、 工作環境中灰塵過多

　　改善思路：杜絕灰塵源

　　改善對策：

　　1、工作環境改造潔凈車間，嚴格按潔凈車間規范實施。

　　2、盡可能做好環境衛生。盡量利用潔凈工作臺。

　　3、 真空室周期打掃，保持清潔。

　　2、膜外白霧

　　現象：鍍膜完成后，表面有一些淡淡的白霧，用丙酮或混合液擦拭，會有越擦越嚴重的現象。用氧化鈰粉擦拭，可以擦掉或減輕，（又稱：可擦拭壓克）

　　分析：膜外白霧的成因較為復雜，可能的成因有：

　?、?、膜結構問題：外層膜的柱狀結構松散，外層膜太粗糙；

　?、?、蒸發角過大，膜結構粗糙。

　?、?、溫差：鏡片出罩時內外溫差過大

　?、?、潮氣；鏡片出罩后擺放環境的潮氣

　?、?、真空室內Polycold解凍時水汽過重

　?、?、蒸鍍中充氧不完全，膜結構不均勻

　?、?、膜與膜之間的應力

　　改善思路：膜外白霧成因很多，但各有些特征，盡量對癥下藥。主要思路，一是把膜做的致密光滑些不容易吸附，二是改善環境減少吸附的對象。

　　改善對策：

　　1、改善膜系，外層加二氧化硅，使膜表面光滑，不易吸附。改善鏡片出罩時的環境（干燥、清潔）

　　2、降低出罩時的鏡片溫度（延長在真空室的冷卻時間）減少溫差、降低應力。

　　3、改善充氧（加大），改善膜結構。

　　4、適當降低蒸發速率，改善柱狀結構

　　5、離子輔助鍍膜，改善膜結構

　　6、加上polycold解凍時的小充氣閥（其功能是及時帶走水汽）

　　7、從蒸發源和夾具上想辦法改善蒸發角。

　　8、改善基片表面粗糙度。

　　9、注意polycold解凍時的真空度。

　　3、膜內白霧

　　白霧形成在膜內，無法用擦拭方法祛除。

　　可能的成因：

　?、?、基片臟，附著前工程的殘留物

　?、?、鏡片表面腐蝕污染

　?、?、膜料與膜料之間、膜料與基片之間的不匹配。

　?、?、氧化物充氧不夠。

　?、?、第一層氧化鋯膜料，可能對某些基片產生白暈現象

　?、?、基片進罩前（洗凈后）受潮氣污染

　?、?、洗凈或擦拭不良，洗凈痕跡、擦拭痕跡

　?、?、真空室臟、水氣過重

　?、?、環境濕度大

　　改善思路：基片本身的問題可能是主要的，鍍膜是盡量彌補，鍍膜本身最大的可能是膜料匹配問題。

　　改善對策：

　　1、改進膜系，第一層不用氧化鋯。

　　2、盡量減少真空室開門時間，罩與罩之間在最短的時間內做好真空室的清潔、鍍膜準備工作。

　　3、真空室在更換護板、清潔后，最好能空罩抽真空烘烤一下，更換的護板等真空室部件必須干燥、干凈。

　　4、改善環境

　　5、妥善保護進罩前在傘片上的鏡片，免受污染。

　　6、改善洗凈、擦拭效果。

　　7、改善膜匹配（考慮第一層用Al2O3）

　　8、改善膜充氧和蒸發速率（降低）

　　9、加快前工程的流程。前工程對已加工光面的保護加強。

　　10、拋光加工完成的光面，必須立即清潔干凈，不能有拋光粉或其他雜質附